国产ICP-MS 进入分析仪器市场已成趋势

　　ICP-MS（ICP质谱）前些年只有几个厂家生产，是那些各个领域的TOP实验室的需求，用来出高级研究成果的。最近明显的感觉是：进口、国产的ICP-MS生产商有所增加，催产因素有哪些呢？大概有如下几点原因：ICP-MS进入我国国标；我国的元素分析一直很火；ICP-MS技术成熟和越来越好用；不断进入新的应用领域，如：纳米颗粒分析、金属组学、质谱流式细胞术、地质年代学等；国内外ICP-MS技术交流频繁，国产ICP-MS厂商逐步增加，国内市场的占有也在逐步的扩大。

　　下面我们整体的了解一下ICP-MS的情况

电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）基本原理

　　ICP-MS 是以电感耦合等离子体作为离子源，以质谱进行检测的无机多元素分析技术。被分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入氩气流中，然后进入由射频能量激发的处于大气压下的氩等离子体中心区；等离子的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离（主要形成单电荷正离子）。离子在采样锥、截取锥、真空的吸力下向真空区传输，并被离子透镜聚焦，然后进入质量分析器（如四极杆、TOF、磁质谱），最后通过检测器检测。在四极杆ICP-MS中，为进一步排除干扰，近年来普遍发展的技术是碰撞池/反应池，一般在离子透镜后。

美析仪器ICP-MS6880电感耦合等离子体质谱仪

　　从硬件构成上，最常用的四极杆ICP-MS包括：样品引入系统、离子源（包括雾化室、RF发生器和等离子体炬管）、接口（采样+截取锥）、离子透镜、动态反应池/碰撞池系统、四极杆质量分析器、检测系统、软件。从接口到检测器的部分，都在真空里。RF发生器除PerkinElmer采用40.68 MHz，其余厂商都采用27.12 MHz。

常用四极杆ICP-MS仪器结构图

ICP-MS发展及应用

　　ICP-MS先有的是概念，1970 年继 ICP-AES 技术快速发展之后，研究者们产生对下一代多元素分析仪器系统的迫切需求。比如对地球化学分析来说，基体问题很严重；在发射光谱中，强的多谱线的主要基体元素如 Ca、Al 和 Fe 的测量，而对痕量元素来说，选择无干扰的谱线很困难。再比如，地质勘查中人们感兴趣的元素，主要集中在具有复杂光谱且在发射光谱中检出限较差的稀有重金属元素。

　　有了需求后，全球多国科学家进行国际技术合作，克服了种种难题，终于在1980年发表了第一篇ICP-MS的可行性文章，1983-1984年，两家仪器公司推出了商品化的ICP-MS。一台是由英国 VG 同位素有限公司生产的基于 Surrey 系统的 Plasma Quad，现在进化为赛默飞的iCAP Q；另一台是由加拿大 SCIEX 公司生产的基于 Toronto 研究小组的工作的 Elan，现在进化为PerkinElmer的NexION。

　　ICP-MS的优点是：可分析几乎地球上所有元素（Li-U），灵敏度高/检出限低，速度快，精密度高，动态线性范围极宽，干扰少，可提供精确的同位素信息，而且可以和液相色谱（LC）、离子色谱（IC）、气相色谱（GC）、流动注射（FIA）、激光烧蚀（LA）等联用，可做形态分析。

　　相比其它原子光谱，ICP-MS的缺点是：对高基体的样品适应差一点，对操作者的要求高一些，价格贵。另外，由于在ICP阶段产生了多原子离子的干扰，所以是否能有效去除干扰离子也是ICP-MS的一大挑战（同原子光谱用各种手段去除光谱干扰的考虑类似）。

　　所以，一台好的商品化ICP-MS，至少要具备前面ICP-MS应有的优点；另外，还需在解决上述挑战方面有所建树。

从1983年第一台商品化ICP-MS问世，中国就一直从国外进口该类仪器；但欧美却一直对中国限制进口，故以前中国的ICP-MS国标不多。2012年，距全球第一台ICP-MS推出29年后，天瑞仪器推出第一台商品化ICP-MS，大大加速了国标中使用四极杆ICP-MS的进程；这让人们认为中国被压抑多年的ICP-MS采购需求会被快速释放，除安捷伦、赛默飞、PerkinElmer、耶拿外，2015年后，国产又有天瑞仪器、 聚光科技、钢研纳克、普析、美析；2016的市场竞争将异常激烈。

近年来传统单四极杆ICP-MS设计的趋势是：引入碰撞池/反应池技术降低干扰；离子源采用离轴技术降低中性粒子干扰，进一步提高分析物灵敏度；降低气体消耗量；设计仪器的硬件软件，让其更容易使用和维护。

　　近年来的技术和应用进展如：安捷伦推出世界首款电感耦合等离子串联质谱系统8800；富鲁达的CyTOF打入了生命科学单细胞分析的尖端领域；最近各ICP-MS在纳米颗粒分析、金属组学、色谱和ICP-MS联用中也颇受垂青。

近几年发布的ICP-MS产品

近两年来，国际上ICP-MS生产商推出了多款ICP-MS，安捷伦在2014年2月推出7900ICP-MS，在2015年6月又发布了7800 ICP-MS；珀金埃尔默继续发布NexION系列产品NexION 350；德国耶拿在2014年完成对布鲁克ICP-MS生产线的收购后，于2015年2月推出 Plasma Quant系列型号；而在2012年推出首台国产ICP-MS 2000型号之后，2014年，天瑞仪器推出带有碰撞反应池的ICP-MS 2000E；在BCEIA 2015展会上，钢研纳克的国内首次成功开发激光剥蚀进样系统的Plasma MS 300和聚光科技的全球体积较小的Expec 7000 ICP-MS，同期 ，普析通用也展示了其ELEXPLORER样机。

　　赛默飞：多种ICP-MS，最早推出ICP-MS

　　赛默飞1984年推出第一台商品化ICP-MS，目前的ICP-MS分两种，四极杆的最新型号为2012年推出的 iCAP Q，高分辨磁式包括ELEMENT2、ELEMENT XR单接收ICP-MS以及NEPTUNE Plus多接收等离子质谱仪。

　　iCAP Q：更易使用和维护

赛默飞iCAP Q四极杆ICP-MS

　　2012年Pittcon会议，赛默飞推出iCAP Q ICP-MS，包括三个型号：iCAP Qa、iCAP Qc、iCAP Qs，后两款有碰撞反应池，iCAP Qc是卖得最多的。iCAP的特点是：更易使用、更易维护、功能强大。iCAP Q采用立式结构，是体积最小的ICP-MS。前开门设计，旋转拉开门即可操作维护锥、透镜和工作线圈，等离子电视可供操作人员远程观看等离子体状态。在降低干扰方面，截取锥后有嵌片（高基体的、和高灵敏度的），可以更换；离子传输部分，采用RAPID透镜技术形成90度偏转离子光路，从接口中提取的离子被加速通过初级离子透镜进入RAPID透镜，使分析的离子进入QCell之前有效偏转90度。分析部分使用专利的Qcell池（四极杆式），采用 Flatapole技术、业已验证的氦KED（动能歧视效应）干扰消除、独特的低质量数剔除功能，来保证碰撞次模式分析的可靠性。在联用方面，赛默飞有自己的GC、LC、IC离子色谱，可配第三方的激光烧蚀。赛默飞提供从原子吸收、ICP-AES到ICP-MS、高分辨ICP-MS的全线产品，是原子光谱领域产品线最全的；公司很容易引导自己的用户从AAS开始，逐步地选用公司更高端的产品；同时赛默飞ICP-MS的每一代产品都有很好的客户口碑，赛默飞ICP-MS有很高的市场占有率。

赛默飞NEPTUNE Plus多接收等离子质谱仪

　　ELEMENT2/XR高分辨磁式ICP-MS和NEPTUNE Plus多接收等离子质谱仪非常昂贵，竞争者很少，对于追求极限分析能力的环境监测、核科学、地球科学和材料科学有用。其中NEPTUNE Plus第一次整合了高灵敏度、灵活多接收检测器、动态变焦调节和多接收离子计数能力，适用于高精度同位素比值测量。

安捷伦：ICP-MS市场占有率比较高，成功推出8800

　　安捷伦（以前的HP）和日本的Yokogawa电气于1963年联合创办企业，于1987年推出世界上第一台计算机控制的ICP-MS，1994年推出世界上第一款台式ICP-MS HP 4500。此后，缺乏AAS、ICP-AES产品线的安捷伦，成功地把缺点变成了优点，面对元素分析的客户时毫不迟疑地推荐ICP-MS；并非常有效地针对用户的挑战，主打“耐受更高基体”的卖点，迅速地成为了ICP-MS市场占有率最高的企业。这种结果对于做ICP-MS晚了4年的安捷伦来说，可能结果好得连它自己都想不到；这也使安捷伦有勇气于2012年创新性地推出了细分品类 8800 ICP-MS/MS。8800的推出也把安捷伦真正推上了ICP-MS的技术领先宝座。安捷伦的分离产品、自动化产品线完备，可提供GC、LC、CE毛细管电泳、自动进样的一体化方案；同时在收购瓦里安之后，安捷伦在光谱产品线方面得到了大幅的增强，提供从AAS、ICP-AES到ICP-MS的全线原子光谱产品，近期还专门成立了光谱事业部，将在原子光谱领域有更强的市场进攻能力。

　　8800 ICP-MS/MS：将反应进行到底，去除干扰更彻底

8800 ICP-MS/MS

　　前文所述，降低电离后多原子离子的干扰是ICP-MS设计的一个主要考虑因素，碰撞/反应池是近年来ICP-MS技术上的最大进步。历史上，PerkinElmer公司最早发明并专利了DRC反应池技术，在截取锥之后利用反应池，引入氦气或氢气等碰撞/反应气体，去除多原子离子的干扰；其余厂家后来推出了类似的技术，但在宣传上，一直存在“碰撞/反应/动能歧视模式哪个好”的争论。争论很多年后，PerkinElmer放弃了自己专利的DRC说法，在NexION上推出了通用池技术，本以为已经结束了所有的争论......

　　谁曾想2012年，安捷伦推出了8800 ICP-MS/MS，干脆来个更彻底的，在原来的碰撞/反应池之前，增加了一个四极杆——

　　用第一个四极杆精确地选择一个离子，然后在碰撞/反应池中引入气体进行一个反应，最后用第二个串联的四极杆来精确地检测这个反应的产物。

质量转移反应模式下进行硒的测定：传统的 ICP-QMS 与 8800 ICP-MS/MS对比

　　A. 传统的ICP-QMS. 使用氧气作为反应气体，在 m/z 80 下硒的反应产物远离干扰（Ar₂⁺、Gd⁺⁺和Dy⁺⁺）。在反应池中⁸⁰ Se⁺转换为⁸⁰Se¹⁶O⁺并在 m/z 96 下被测量。然而，在 m/z 96 下，锆、钼和钌与之全部重叠，这就导致了硒的数据不正确。

　　B. 8800 ICP-MS/MS. Q1 只允许质量数为 80 的离子通过反应池而阻止所有其它离子进入池内。在反应池中在与氧气反应的作用下⁸⁰Se⁺转换为⁸⁰Se¹⁶O⁺。Q2 测定质量数为 96 的 SeO⁺。因为锆、钼和钌被 Q1 阻止因此它们不会干扰反应过程。

　　（1）单四极杆的有机质谱，为了降低干扰，引入了串联四极杆仪器质谱，第一个四极杆精确选择一个母离子，到碰撞池CID打碎，用第二个四极杆精确地检测一个子离子，这种方式叫做MRM。由于该过程主要是把有机分子的离子碰碎，所以“子离子”一般比“母离子”分子量小。

　　（2）单四极杆的ICP-MS，为了降低干扰，多年前引入了碰撞/反应池，但到池里的是所有的离子，到底怎么进行的碰撞/反应理不太清；现在8800串联四极杆ICP-MS/MS用第一个四极杆精确选择一个离子，到碰撞/反应池反应一下，用第二个四极杆精确地检测反应生成的离子，这种方式也叫做MRM。只不过，反应是“母离子”加了一个质量，所以“子离子”往往比“母离子”分子量更大。

综上所述，8800汲取了串联四极杆有机质谱的经验，带给无机ICP-MS新的春天，对多原子离子干扰可通通消除，目前厂家的报告中多见磷、硫和硒以前用ICP-QMS难测的元素，但8800带给研究者们的想象力是巨大的。

　　7900：超高耐盐，11个数量级的动态线性范围

安捷伦7900 ICP-MS

　　ICP-MS面临的一大挑战就是对高盐基质溶液的耐受程度。安捷伦的历代单四极杆ICP-MS一直重点强调自己的耐盐设计——HMI，因此从7500后每代产品均大获成功。2014年推出的7900，相比7700前代产品的特点为：（1）提高10倍10x信噪比(S/N)：灵敏度提高2倍，噪音降低5倍。（2）提高10倍基体耐受性：7900上推出了UHMI超高耐盐系统，使仪器的耐盐度高达25%。（3）高达11个量级的总测量范围可以准确定量至百分量级，这在ICP-MS中是史无前例的。（4）提高30倍检测器速度：更快的瞬时信号测量(TRA)技术，0.1毫秒的积分时间，提高了单纳米颗粒的分析能力。（5）提高效率：新型、快速的碰撞反应池ORS4使不同模式的切换时间小于3秒；新型自动进样器ISIS 3在无人值守时可实现快速启动、自动调谐和进样。7900 ICP-MS的推出可继续保证安捷伦在传统ICP-MS市场上的占有率。

　　7800：标配碰撞/反应池，简化常规应用

安捷伦7800 ICP-MS

　　2015年，安捷伦推出7800 ICP-MS，特点是：方便用户进行日常检测分析。10个数量级的宽动态范围；标配HMI可耐受3%的高盐基质；标配碰撞/反应池进行有效的干扰消除；可以预置解决方案，能够提供可靠、稳定的性能表现和更简便的应用，方便用户进行日常检测分析。安捷伦提供了针对特定行业的应用程序包，以帮助用户快速常规分析。可用于饮用水、环境废物和制药应用领域、食品检测及其他多个行业。当然从命名上可知，7800的价格也会对用户更有吸引力。

　PerkinElmer：ICP-MS和反应池的鼻祖，最快的NexION 350

NexION 350系列电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS

　　PerkinElmer于1983年推出第一台ICP-MS Elan 250，之后一直在Elan平台上。Elan也是最早使用CRC反应池技术的。2010年发布NexION 300电感耦合等离子体质谱仪，推出通用池技术，结束了碰撞池和反应池的争论，在一台仪器上，同时具有碰撞池和反应池两种技术，并在三锥接口，90度偏转离轴的离子光学降低噪音方面进行了创新。2014年5月，PerkinElmer发布了其新一代NexION 350系列ICP-MS。NexION 350专为提高元素分析实验室的效率而设计，NexION 350还具有一个可选的专用纳米应用模块，可提供前所未有水平的纳米检测与表征。

　　NexION 350每秒可采集100,000个数据点（积分时间为10微秒，市场上大部分为100微秒，NexION 350比其它竞争者快10倍），这个采集速率对于要求快速的瞬时数据采集分析应用是非常理想的，如纳米颗粒表征、形态分析和激光烧蚀联用，都能确保关键信息不会丢失。NexION 350可以广泛应用于环境分析领域，包括饮用水、废水和土壤中痕量金属元素的检测；科学家也可以它来识别掺假食品；也可以使用它对药物中的杂质元素进行分析，以帮助完成美国药典232/233中新的测试要求。NexION系列ICP-MS还可与LC、GC、FIA流动注射联用分析。一直以来，PerkinElmer提供从原子吸收、ICP-AES到ICP-MS的全线产品，很容易引导自己的用户从AAS开始，逐步地选用公司的更高端的产品。不过，PerkinElmer在NexION上，丧失了自己坚持的“反应池”立场，现在被8800用“更精确的反应”占了先机；灵敏度/检出限/线性范围目前看起来比较落后；只有每秒采集十万数据点，更适应于纳米分析的特点，让自己通用的ICP-QMS走入了一条更窄的领域。这个老牌的元素分析企业，如何才能重振雄威呢？

　　德国耶拿： Plasma Quant MS，高灵敏度，最省氩气

PlasmaQuant MS Elite ICP-MS

　　耶拿的ICP-MS发源于Varian于1993年推出的ICP-MS，Varian被安捷伦收购后，ICP-MS部分给了Bruker，后耶拿在2014年收购布鲁克ICP-MS产品线，并于2015年2月推出Plasma Quant MS和Plasma Quant MS Elite，后者为研究级ICP-MS。这个名字有点儿“怀旧、向经典致敬”的意思（VG公司1983年推出Plasma Quant）。该产品特点是：高灵敏度（In达到1500 Mcps/ppm），省氩气（最小8升/分钟），单数字检测器（ADD）完成10个数量级的线性动态范围。在设计上的特点：体积从落地式变成了台式，减少了体积；使用开卷式设计易于打开和维护，比如换锥只需1分钟。该仪器的前身是最早采用90度偏转透镜设计的，现在PerkinElmer和赛默飞都采用了，新的ReflexIon透镜不仅90度偏转，而且利用的是效率更高的反射而不是透射，使灵敏度大幅提高。碰撞反应池iCRC在透镜之前，截取锥之后（其它家都是在透镜之后），将He或H2气体通入截取锥锥口的高压反应区内，是先碰撞反应再传输，从好处上来讲，不同气体可快速切换，不需等待平衡时间；一次实验直接做碰撞反应不会损失灵敏度；因为在前端碰撞对气体纯度的要求不高，还可以使用更安全的氢气发生器。单数字检测器在使用时无需交叉校正。四极杆的驻留时间为50μs，在市场上仅低于NexIon 350。在真空方面，耶拿的ICP-MS采用两个分子涡轮泵（其它家都是双路的一个泵），这种设计可使性能更高，但会造成仪器成本提高。

天瑞仪器：国产ICP-MS

　　ICP-MS 2000是天瑞仪器于2012年推出的国内首台商品化ICP-MS，外形比较像Thermo老一代的X Series II。ICP-MS 2000系列仪器各项性能均达国家标准，能够满足用户应用需求，性价比高。ICP-MS2000系列目前包含ICP-MS2000、ICP-MS2000B、ICP-MS2000E（2014年推出）三款型号。ICP -MS2000、ICP-MS2000B采用等离子体屏蔽技术，保证冷等离子体模式等应用，无需使用碰撞/反应气，即可使K、Na、Ca、Mg、Fe等易电离元素检出限低至ng/L。而ICP-MS2000E采用最新的变频等离子体技术，保证仪器可运行多种模式（如常规模式、碰撞反应模式、冷等离子体模式），ICP-MS 2000E增加了碰撞反应池。

天瑞仪器ICP-MS 2000E电感耦合等离子体质谱仪

　　2014年10月，天瑞仪器发布了ICP-MS 2000的升级版——增添了碰撞/反应池功能的ICP-MS 2000E。ICP-MS 2000E的离子源采用了天瑞仪器自主研制的变频等离子体发生器，可靠性高，可直接对有机溶剂进行分析，即使进高纯度极易挥发的乙腈溶液离子源仍可稳定工作；配置自动进样器，使测试过程更加自动化，提高测试效率；采用最新的碰撞反应池技术，能有效地消除多原子离子干扰，降低易受干扰元素的检出限；已广泛应用于环境、食品、半导体、核工业、石油化工、矿产、医药及生理分析等领域。

　　钢研纳克：激光烧蚀联用是特色

钢研纳克Plasma MS 300电感耦合等离子体质谱仪

　　钢研纳克Plasma MS 300电感耦合等离子体质谱仪，是应用激光烧蚀进样系统的直接激发固体样品功能，与电感耦合等离子体质谱仪高灵敏度检测性能相结合，在国内首次成功开发激光剥蚀进样系统，实现了ICPMS固体直接进样；实现四极杆、离子传输系统、ICP源、碰撞反应池系列ICPMS关键技术的国产化；利用各种模拟仿真理论和工具指导传输系统、碰撞反应池的开发，取得良好效果；设计了多种功能的控制与应用软件系统，预留了激光剥蚀、液相色谱等联用的模块等创新点。可用于环境分析测试领域、地矿样品测试、食品安全、金属材料研究。该仪器于2015年10月发布，获得BCEIA2015金奖。

　　聚光科技：体积小

Expec 7000型电感耦合等离子体质谱仪

　　聚光科技的Expec 7000型电感耦合等离子体质谱仪是2015年10月在BCEIA2015上发布的新品，并获得BCEIA 2015金奖，是全球体积最小的ICP-MS，并可用于车载。Expec 7000采用具有自主知识产权的自激式全固态射频电源技术、两次离轴式离子传输技术、四极杆驱动技术、高速动态碰撞池技术、基于分类和版本的方法管理系统和智能化数据分析技术，填补了国产无机质谱的空白。可以和液相色谱、激光剥蚀等进样装置联用。可应用在环保、水利、电子、地矿、石油化工、生命科学等领域。

　　北京东西分析

电感耦合等离子体飞行时间质谱 ICP-TOFMS

　　东西分析在2013年收购了澳大利亚GBC，并获得了其产品Optimass 9500电感耦合等离子体直角加速式飞行时间质谱仪。OptiMass 9500 ICP-TOFMS的分辨率和分析速度大约是普通四极杆ICP-MS的五倍，它可以进行1-260amu的全质量扫描，这一特征可以使 OptiMass 9500同时扫描低质量端和高质量端的同位素，离子扫描速度每秒超过30,000张全谱。在NexION 350用单四极杆ICP-QMS提出每秒采集100,000个点后，OptiMass 9500在定量方面的优势又降低了；但在全谱定性方面，仍然比四极杆ICP-QMS快几十倍到几百倍。在应用支持方面，需尽快找到快速、全谱分析的应用，比如：纳米分析、组学分析、单细胞分析等。

　　北京普析通用

普析通用：ELEXPLORER电感耦合等离子体质谱（样机）

普析通用在BCEIA2015上展出了ELEXPLORER ICP-MS。ELEXPLORER ICP-MS使用技术上比较成熟的ICP离子源装置；（1）在ICP后，设计提取透镜，保证在整个质量范围内提供好的灵敏度；（2）提取后，使用偏转透镜，减少中性粒子；（3）使用国产200mm 四极杆；（4）动态范围到8个数量级；（5）检出限平均达到0.5 ppt。该仪器目前仍处于样机阶段。

上海美析仪器有限公司

                     ICP-MS6880电感耦合等离子体质谱仪

产品介绍
电感耦合等离子体质谱仪 (简称ICP-MS），是20世纪80年代发展起来的一种新的微量、痕量和超痕量元素分析技术。ICP-MS可测定元素周期表中大部分元素，且具有极低的检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、精密度高、分析速度快等性能优势，上海美析仪器是国内较早开发ICP-MS的厂家，拥有国内最资深的ICP-MS研发团队，努力打造国内一流的ICP-MS产品。
应用领域
高校、质检中心、环境监测站、企业、农业系统、地质地矿、 环境保护、地质冶金、电子电器、食品安全、化工制药等。
性能特点
◇ 集成气路模块，减少气路接头，轻量化、模块化，保障仪器便于移动工作
◇自主研发的固态电源可以保证仪器在多种模式（如常规模式、冷等离子体模式）下运行，并且在同一方法中允许运行多种模式，节约大量分析时间及方便研究。
◇ 采用主流化市场设计，为用户特别是第三方检测用户大大节省了仪器占用空间，也为未来实现车载应用，增加了可能性。
◇中英文快速切换软件界面，“一键式”参数设置直观快捷，提高了用户的工作效率，也提供自动控制仪器及其附件的能力，完美适应Windows 专业操作系统
◇美析仪器遍布全国的服务网络，我们10分钟响应、48小时内上门服务、客服中心随时跟踪服务、保证服务质量

德国斯派克分析仪器

　　德国斯派克分析仪器公司隶属于阿美特克集团公司材料分析仪器部，2010年推出的SPECTRO MS，并获得2010年Pittcon银奖，是第一台可同时扫描周期表中几乎所有元素的ICP-MS。SPECTRO MS 是一种基于Mattauch-Herzog设计的双聚焦扇形场质谱仪，它拥有全新的离子光学和首创的检测器技术，是从6Li—238U全质谱范围同时测量的无机质谱仪器。不再需要花费时间从一个质量到另一个质量进行扫描，而是全谱共4800通道每个质量由大约20个通道进行同时测量，这种全新的半导体检测器具有极为高速的同时读出能力，每次测量都进行全质谱测量并储存数据，实时或以后进行数据处理。

　富鲁达：完全创新的跨界仪器 用于单细胞分析

　　CyTOF平台最初由DVS Sciences公司开发，而CyTOF 2 质谱流式细胞仪是在2013年5月推出的。但在2014年2月Fluidigm以2.075亿美元收购了这家公司以及CyTOF技术，向单细胞蛋白质组学迈进。CyTOF结合了流式细胞术的优势以及质谱的精确度和分辨率，实现了多参数的单细胞蛋白分析。它采用金属元素标记物来标记或识别细胞表面和内部的信号分子，然后用流式细胞仪分离单个细胞，再用感应耦合等离子质谱（ICP-MS）观察单个细胞的原子质量谱，最后将原子质量谱的数据转换为细胞表面和内部的信号分子数据。此平台能够同时定量单个细胞中多达100个生物标志物。不过这台仪器数百万的售价十分惊人。